早期的透镜放大倍数只有2~3倍,也许可以帮助视力不好的人看清楚字迹,但是我们离看到原子和分子还差得远。因此,我们需要新的工具。最先做出突出成绩的是罗伯特·胡克(Robert Hooke),那位曾与牛顿打得天翻地覆的科学家。罗伯特·胡克不仅是一位造诣高深的理论学家,他发明了胡克定律,而且对行星引力平方反比定律做出了贡献,他还是一位制作精密仪器的高手。他在1665年发表了著作《显微图片:或关于使用放大镜对微小实体作生理学描述》(Microphagia: or Some PhysiologicalDescriptions of Miniature Bodies Made by Magnifying Glasses),在这本书里,他向读者展示了一个纷繁复杂又奇妙无比的微观世界。罗伯特·胡克在植物身上发现了很多小空洞,并讲这些空洞命名为:细胞(cell)。他计算出一平方厘米软木片上大约包含有195255750个空洞,如此巨大的数字在当时的科学界还是极其罕见的。罗伯特·胡克在微观世界上的突出贡献完全归功于他高超的显微镜制作技巧,以及那一台可以放大到30倍的显微镜,这一放大倍数在当时的光学界被认为是鹤立鸡群的。
上述这些信号都被用来分析物质,但是有一些是偏重于元素的(背散射电子、特征X射线以及俄歇电子),而二次电子和透射电子则是对被测物质的形貌非常敏感的,所以他们也就被用来放大观测微观物体。电子显微镜根据接收信号的不同可以分为扫描电子显微镜(scanning electron microscope)和透射电子显微镜(transmission electron microscope)两大类,其中扫描电镜靠二次电子观察形貌,而透射电镜则利用透射电子。
扫描电镜使用二次电子为观测信号,二次电子能量极低,只可以从样品表面小于10nm的范围内激发而出,这就使得扫描电镜只能观察到样品表面的形貌,而无法获得样品整个的结构信息。另外由于扫描电镜无需穿透样品,所以加速电压相对较小(小于30 kV),这使得扫描电镜的光斑相对较大,无法获得极高的分辨率。一般普通的扫描电镜的放大倍数不超过100万倍,分辨率大致在几百纳米的尺度上。而场发射扫描电镜(field emission scanning electron microscope,FESEM)可以有效地提高加速电压以聚拢光斑,这就让我们可以获得更大的放大倍数(一般小于150万倍),并可以看到10~20nm左右的颗粒。150万倍的放大倍数足够我们勉强看到比较大一些的分子(晶胞)了,但是距离要看到原子所需要的200万到300万倍,还有最后一段最艰难的路要走。
虽然扫描隧道显微镜可以有效地看到单个原子并操纵它们,但是扫描隧道显微镜只能用来观察导体,半导体的效果就很差了,而绝缘体则完全无法观测。为了弥补这一缺陷,发明了扫描隧道显微镜的格尔德·宾尼希再接再厉,在1985年发明了原子力显微镜(atomic force microscope,AFM)。原子力显微镜的原理与扫描隧道显微镜大致相同,都是通过探针和原子表面发生相互作用。但是最大的区别在于,原子力显微镜采用了原子间的相互作用(如范德华力)作为信号进行收集,而非隧道电流,这就使得原子力显微镜可以观察诸如陶瓷的绝缘体。